納米壓痕測試儀 (NHT3)
儀器簡介：
市場上功能多且簡單易用的納米壓痕測試儀
NHT3 專為納米級位移測量提供小載荷，可用于測試硬度、彈性模量和蠕變等。其范圍涵蓋小載荷 (0.1 mN) 至大載荷 (500 mN)，可在載荷范圍內提供zui大的通用性。由于獨特的表面參比技術，無需等待其達到熱穩定狀態，立即完成壓痕測試。全新“快速點陣”壓痕模式可以進行一系列快速的測量（每小時測試量高達 600 個壓痕）。
主要特點：
●簡單易用的納米壓痕測試儀
?直觀易用的軟件：用簡單的參數（*大載荷）、統計數據分析和保存的測試模板輕松開始測試
?適用于表面的不同放大倍數的多物鏡視頻顯微鏡
?堅固耐用的納米壓痕測試儀：參比環保護壓痕針尖不受碰撞
●“快速點陣”壓痕模式帶“模板”模式
?快速且符合要求：按照儀器化壓入測試 (IIT) 的 ISO14577 標準要求，“快速點陣”壓痕模式每小時測試壓痕數目高達 600個
?全新“模板”模式讓您可以用導出的數據創建一個自定義模板，從而更靈活快速的分析數據
?多樣品臺夾具用于自動測試，6 樣品夾具*多可固定 6 個樣品，自定義樣品夾具可固定更多樣品
●采用獨特的表面參比設計，保證高精度的位移測量
?表面參比為材料壓入位移提供恒定參考（相對于樣品表面）
?高載荷框架剛度 (107 N/m) 為納米壓痕測量提供高準確度和精 確度
●測量的高穩定性
?采用主動表面參比技術來實現納米壓痕測量中的高熱穩定性（原始熱漂移率 <0.05 nm/s）
?框架使用定制的人造花崗巖來提高穩定性
?采用低熱膨脹系數 (10-6/°C) Macor材料的獨特設計保證高熱穩定性
?法向力反饋控制
?利用差分電容測量壓痕位移
●可用于多種分析模式的多種測試模式
?多種測試模式：正弦模式、連續周期 (CMC)、恒定應變速率、用戶自定義、上等點陣和多樣品方案、載荷和位移控制模式
?各種機械性能的多種分析模式：硬度 (HIT、HV、HM)、彈性模量、儲能和損耗模量、蠕變、應力 - 應變曲線
?使用標準壓痕針尖可在液體環境下進行測量
典型應用：
¨硬質涂層（PVD、CVD 涂層）：厚度范圍為 1 微米至 20 微米
¨冶金：金屬、合金及其微結構（相、雜質等）表征
¨聚合物薄膜基體上氧化物涂層的納米壓痕測量
¨膠凝材料的機械性能
¨儀器化壓痕熱噴涂涂料的表征
技術指標：
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載荷 |
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*大載荷 |
500 mN |
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分辨率 |
0.02 μN |
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本底噪音 |
<0.5 [rms] [μN]* |
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位移 |
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*大位移 |
200 μm |
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分辨率 |
0.01 nm |
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本底噪音 |
<0.01 [rms] [nN]* |
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載荷框架剛度 |
> 107 N/m |
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國際標準 |
ISO 14577, ASTM E2546 |
*理想實驗室條件下規定的本底噪音值，并使用減震臺。
